程 洁
机械电子工程系，教授/博士生导师，教工机械系党支部书记
邮箱：jiecheng@cumtb.edu.cn 办公地址：海淀区学院路丁11号机电楼109
教育背景
2011.09-2016.06 清华大学攻读博士学位-机械工程专业
2007.09-2011.06 山东大学攻读学士学位-机械工程专业
工作履历
时段-职称/职务
2020.07至今 565net必赢客户端（北京）机电与信息工程学院，教授/博士生导师
2019.10–2020.07 北京理工大学，机械与车辆学院，副研究员
2016.09–2019.09 清华大学，摩擦学国家重点实验室，博士后
访问学者经历
2018.06–2019.09 瑞典皇家理工KTH，表面与腐蚀科学研究所，博士后
人才培养情况
博士毕业生1人，硕士毕业生11人；博士生（在读）7人，硕士生（在读）12人
研究领域
学科：机械工程
研究方向：煤电子制造；化学机械抛光（CMP）技术；磨蚀技术
研究概况
国家级项目：
1. 国家自然科学基金面上项目，亚10nm xxxx互连钴超光滑、无缺陷化学机械抛光机理研究，2025/01-2028/12，主持
2. 国家自然科学基金面上项目，xxxx新型钌金属栅的化学机械抛光机理研究，2021/01-2024/12，主持
3. 国家自然科学基金青年项目，xxxx亚14nm节点FinFET的化学机械抛光基础研究，2018/01-2020/12，主持
省部级项目：
1. 北京市自然科学基金项目，xxxx使用局部钴互连技术的化学机械抛光（CMP）机理研究，2022/01-2024/12，主持
2. 中国科协青年人才托举工程项目，新型钴互连的无籽晶电镀（ECP）及其化学机械抛光(CMP）的基础研究，2022/01-2024/12，主持
3. 高端装备界面科学与技术全国重点实验室开放基金重点项目，新型钴互连的无籽晶电镀（ECP）及其化学机械抛光（CMP）的基础研究，主持
4. 中国博士后科学基金特别资助，柔性纳米磨粒的制备及在xxxx化学机械抛光中的应用，2018/06-2019/09，主持
5. 中国博士后科学基金面上项目，稀土元素掺杂氧化铈磨粒在FinFET化学机械抛光中的应用，2017/11-2019/09，主持
科研平台：
煤炭精细勘探与智能开发全国重点实验室、煤矿智能化与机器人创新应用应急管理部重点实验室
研究成果
论文：
[1]. Jiahui Ma, Yating Huang, Jie Cheng*, Qinhua Miao, Jinchi Chen, Shirong Ge, In-depth understanding of the corrosion mechanisms of Co and Cu in chemical mechanical polishing (CMP): Insights from electrochemistry and triboelectrochemistry, Corrosion Science, 260 (2026), 113583.
[2] Qinhua Miao, Fan Zhang, Jie Cheng*, Jiahui Ma, Guofeng Pan, Lifei Zhang, Shirong Ge, Corrosion inhibition mechanism of potassium oleate in Co chemical mechanical polishing for atomic-level surface smoothness, Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, 728 (2026), 138774.
[3] Zhenxiang Huang, Yating Huang, Jie Cheng*, Guofeng Pan, Pengpeng Bai, Yaran Lv, Multimodal attention dynamic hypergraph contrastive learning for predicting material removal rate in chemical mechanical polishing, Journal of Manufacturing Process, 152 (2025), 843-855.
[4] Chongyang Li, Jie Cheng*, Shirong Ge, Jiushuai Deng, Xinyue Zhang, Jinlong Jin, Low-cost Preparation of Conducting Films Using Low-grade Coal for Electronics Application, Fuel, 392(2025), 134956.
[5] Jie Cheng*, Yaran Lv, Fan Zhang, Peng Han, Qinhua Miao, Zhenxiang Huang, Understanding the Adsorption Mechanism of Benzotriazole and Its Derivatives as Effective Corrosion Inhibitors for Cobalt in Chemical Mechanical Polishing, Applied Surface Science, 682 (2025), 161684.
[6] Jie CHENG, Shuo GAO, Jiahui MA, Zhenxiang HUANG, Shirong GE*, Electronics manufacturing tribology: Future opportunities and challenges, Friction, 13 (2025), 9441048.（封面文章）
[7] Yan Meng, Luo Yue, Hui Cao, Peng Wei, Hui Zhao, Xue Zhou, Jie Cheng*, Pengpeng Bai, Qian Zhao, Yonggang Meng, Yu Tian*, Tribological behavior of steel-silicon nitride combinations using chlorophenyl silicone oil (CPSO) lubricant in a wide temperature range of -100 ℃ to 380 ℃, Tribology International, 204 (2025), 110458.
[8] Qinhua Miao, Lei Fan, Fan Zhang, Yaran Lv, Jie Cheng*, Experimental and Theoretical Computational Study of Corrosion Inhibitors in the Cobalt Bulk Chemical Mechanical Polishing (CMP) Process, Journal of Molecular Liquids, 412 (2024), 125865
[9] Yan MENG, Xiangli WEN, Jie CHENG*, Pengpeng BAI, Yonggang MENG, Yu TIAN*, High temperature lubrication performance of chlorophenyl silicone oil, Friction, 12 (2024), 1716-1727
[10] Jie Cheng, Sulin Chen, Fan Zhang, Bin Shen, Xinchun Lu* and Jinshan Pan, Corrosion- and Wear-Resistant Composite Film of Graphene and Mussel Adhesive Proteins on Carbon Steel, Corrosion Science 164 (2020), 108351.
专利：
[1]. 程洁，李杨，路新春. 一种镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用，中国：ZL201810440980.5
[2]. 程洁，刘丁未，邓久帅，王书鹏，范磊. 一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法，中国： ZL202311285578.1
[3]. 程洁，苗钦华，葛世荣，邓久帅，任小勇. 一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法，中国：ZL202410792194.7
[4]. 程洁，刘丁未，邓久帅，张志军，高硕. 一种用于芯片高K介质金属栅钌栅平坦化的抛光液及其制备方法与应用，中国：ZL202510186127.5
专著：
[1] Jie Cheng, Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect, Springer, 2018 (Recognizing Outstanding Ph.D. Research)
教材：
[1] 林福严，程洁，张运九，《摩擦学简明教程》，机械工业出版社，2022
标准：
主导/参与制定国际标准1项、国家标准1项、团体标准4项。
荣誉奖励
2025 中国腐蚀与防护学会科学技术奖(自然科学类) 一等奖 （1/5）
2025 “温诗铸枫叶奖－优秀青年学者奖”
2025 教育部机械设计课程群虚拟教研室第二届讲课比赛特等奖
2022 中国科协第七届“青年人才托举工程”
2018 青年工程师奖（Young Engineer Award），2018中国国际半导体技术大会，中国上海
2016 最佳学生奖（Best Student Award），2016中国国际半导体技术大会，中国上海
2016 优秀博士研究成果（Recognizing Outstanding Ph.D. Research），德国Springer出版社
2016 清华大学优秀博士学位论文
2014 青年学者奖（Young Researcher Award），2014国际化学机械抛光/平坦化大会，日本神户
学术任职
中国腐蚀与防护学会磨蚀与防护专委会秘书长、中国机械工程学会摩擦学分会委员、中国稀土学会稀土高性能制造专委会委员、广东省先进绿色润滑材料企业重点实验室学术委员会委员；Surface and Coatings Technology、《中国表面工程》、《摩擦学学报（中英文）》、《表面技术》青年编委等。
育人成果
2025指导博士生获首届表面科学技术与应用博士生/博士后大赛三等奖；2025指导博士生获“北京市优秀毕业生”、硕士生获“565net必赢客户端（北京）优秀毕业生”；2025 指导硕士生获2025年全国青年摩擦学学术会议“优秀口头报告”奖；2024指导博士研究生获“国家奖学金”；2024指导硕士研究生获首届摩擦学女科技工作者论坛“优秀墙报奖”；2023北京市优秀本科毕业论文指导教师；2023、2022、2021 565net必赢客户端（北京）优秀本科毕业论文指导教师。
